千佛殿位于摩顶松北，为寺内主体建筑，建于唐，拓于宋，重修于明清，规模宏伟，金碧辉煌。内置须弥座，供三尊释迦分身大佛：中为宋塑藤胎毗卢遮那，东、西为明铸药师卢舍那和阿弥陀铜佛。四壁台座上置40尊罗汉彩色泥塑，为宋、明之作，技法精湛，神态各异，喜怒哀乐，栩栩如生。梁启超称其为“海内第一名塑”， 1983年刘海粟题“灵岩名塑，天下第一，有血有肉，活灵活现”。壁面上原有明制 铜、木小佛千尊，今存293尊。